自從中國將裝備製造業列為******發展戰略後，中國的裝備製造業取得了突飛猛進的發展，很多大型裝備（bèi）的製造能力都已經躍居世界******水平（píng），甚至成為世界的******水平，但中國製造業總（zǒng）體（tǐ）還是落後（hòu）的，其（qí）落後就在於精密（mì）製造的落後。
超精密加工技術是現代高技術戰爭的重要支撐技術，是現代高科技產業和科學技術的發展基礎，是現代製造科學的發展方向。
現代科學（xué）技術的發展以試驗為基礎，所需試驗儀器（qì）和設備幾乎無一不需要超精密加工技術的支（zhī）撐。由宏觀製造進入微觀製造是未來製造業發展趨勢之（zhī）一，當前超精密加工（gōng）已進（jìn）入納米尺度，納米製造是超精密加工前沿的課題。世界發達******均予以（yǐ）高度重視。
01
超精密加工的發展階段
目前的超精密加工，以不改變（biàn）工件材料物理特（tè）性為前提，以獲得極限的形狀精度、尺寸精度、表麵粗糙度、表麵完整性(無或極少的表麵（miàn）損傷（shāng），包括（kuò）微（wēi）裂紋等缺陷、殘餘應力、組（zǔ）織變化)為目標。
超精密加工（gōng）的研究內容，即影響超精密加工精度的各種因素包（bāo）括：超精密加（jiā）工機理、被加工材料、超（chāo）精密（mì）加工設備、超精密加工工具、超精密（mì）加工夾具、超精密加工的檢測與誤差補償、超精密加工環境(包括恒溫、隔振、潔淨控製等)和超（chāo）精密（mì）加工工藝等。一直以來，國內外（wài）學者圍繞這（zhè）些內容展開了係（xì）統的研（yán）究。超精密加工的（de）發展經曆了如下三個（gè）階段。
1）20世紀（jì）50年代至（zhì）80年代，美國率先發展了以單點金剛石切削為代表的超精密加工技術，用於航天、國防、天文等領域激光核聚變反射（shè）鏡、球麵、非球麵大型（xíng）零件的加工。
2）20世紀80年代至90年代，進入民間工業的應用初期。美國的摩（mó）爾公司、普瑞泰克公司，日本的東芝和日立，以及歐洲的克蘭菲爾德等公司在政府的（de）支（zhī）持下，將超精密加工設備的商品化，開始用於民用精密光學鏡頭（tóu）的製造。單超精密加工設備依然稀少（shǎo）而昂貴，主要（yào）以專用機的（de）形式訂製。在這一時期還出現了可加工硬（yìng）質金屬和硬脆材料的超精密金剛石磨削技術及磨床，但其加工效率無法和金剛石車床（chuáng）相比。
3）20世紀90年代後，民用超精密加工技術逐漸（jiàn）成（chéng）熟。在汽車、能源、醫療器材、信息、光（guāng）電和通信等產業的推（tuī）動下，超精密加工技術廣泛應用於非球麵（miàn）光學鏡片、超精（jīng）密模具、磁盤驅動（dòng）器磁頭（tóu）、磁盤（pán）基板、半導（dǎo）體基片等零件的加工。隨著超精密加（jiā）工設備的相關技術，例如精密主軸部件、滾動導（dǎo）軌、靜壓導軌（guǐ）、微量進給驅動（dòng）裝置（zhì）、精密數控係統、激光精密檢測係統等逐漸成熟，超精密加工設備成（chéng）為工業界常見的生產設備。此外，設備（bèi）精度也逐漸接近納米級水平、可加工工件的尺寸範圍也變得更大，應用越來越廣泛。隨著數控技術的發展，還出現（xiàn）了超精密五（wǔ）軸（zhóu）銑削（xuē）和飛切技術。已經（jīng）可以加工非軸對稱非球（qiú）麵等複雜零件。
02
國外超精密加工的發展情況
超精密加工技術在國（guó）際上處於領先地位的******有美國、英國和（hé）日本。這些******的超精密加（jiā）工技術不僅總體成套水平高，而且商品化的程度也非常高。
美國50年代（dài）末（mò）發展了金剛石刀具的超精密切削技術，稱（chēng）為SPDT技術（Single Point Dia-mond Turning）或微英（yīng）寸技（jì）術（1微英寸＝0.025μm），並發展了相應的空氣軸承主軸的超精密機床，用於加工（gōng）激光核聚變反（fǎn）射鏡、戰術導彈及載人飛船用球麵、非球麵大型零件等。
金剛石刀具（jù）的超精密切（qiē）削加工
在大型超精密機床（chuáng）方麵，美國（guó）的LLL******實驗室於1986年研製成（chéng）功兩台大型超精金剛石車床：一台為加工（gōng）直徑（jìng）2.1m的臥式DTM-3金（jīn）剛（gāng）石車床，另一台為加工直徑（jìng）1.65m的LODTM立式大型光學金剛石車床。其中，LODTM立式大（dà）型光學金剛石車床被（bèi）公認為世界上精度***高的超精密機床。美國後來又研（yán）製出大型6軸數控精密研磨機，用於大型光（guāng）學反（fǎn）射鏡（jìng）的精密研磨加工。
英（yīng）國（guó）克蘭菲爾德技術學院所屬的克（kè）蘭菲爾德精密工程研究所（簡稱（chēng）CUPE）是英國（guó）超精密加工技術水平的獨（dú）特代表。如CUPE生產的Nanocentre（納米加工中心）既可進行超精密車削，又帶有磨頭，也可進行超精密（mì）磨削（xuē），加（jiā）工工件的形（xíng）狀精度可達0.1μm，表（biǎo）麵粗糙度Ra<10 nm。
Cranfield精密加工中心於1991年研製成功OAGM-2500多功能三坐標聯（lián）動數控磨（mó）床（工作台麵積2500mm×2500mm），可加工（磨削、車削）和測量精密自由曲麵。該機床采用加工（gōng）件拚合方法，還可加工出天文望遠鏡中直徑7.5m的大型反射鏡。
OAGM-2500大型cnc超精密磨床
日本對超精密加工技術的研（yán）究相對於美、英來說起步（bù）較晚，但（dàn）是當今世界上超精密加（jiā）工技術發展***快的******。
03
我（wǒ）國超精密加工的（de）發展情況
在過去相當長一段時期，由於受到西方******的禁運限製，我國（guó）進口國（guó）外超（chāo）精密機床嚴重（chóng）受（shòu）限。但當1998年我國自己的數控超精密機床研製成功後，西方******馬上對我國開禁（jìn），我國（guó）現在已經進口了多台超精密機床。
我國北京機床研究所、航空精密（mì）機械研（yán）究所（航空（kōng）303）、哈爾濱工業（yè）大學、國防科技大學等單位現（xiàn）在已能生產若幹種超精密數控金剛石機床。
北京（jīng）機床研究所是國內進行超精密加工技術研究的主要單位之一，研製出了多種不同類型的超（chāo）精密機床、部件和相關的高精度測試（shì）儀（yí）器等，如精度達0.025μm的精密軸承、JCS—027超精密車床、JCS—031超精密（mì）銑床、JCS—035超精密車床、超精密（mì）車床數控係統、複印機感光鼓加工機床、紅外（wài）大（dà）功率激（jī）光反射鏡、超精密振動－位移測微儀等，達到了國內領先、國（guó）際******水平（píng）。
NAM-800 型納米數（shù）控車床是（shì）北京機床研究所***新一代的納米級加工機床。它是（shì）當（dāng）今數控技術、伺服技術、機械製造技術******的統（tǒng）一。該機床為我國（guó）***前沿的科技發展提供了良好（hǎo）的加工手（shǒu）段（duàn）。
NAM-800 型納米數控車床
航空精密機械研究所在超精密主軸、花崗岩坐標（biāo）測量機等方麵進行了深入研究及產品生產。
哈爾濱工（gōng）業大學在金剛石超精密切削、金剛石刀具晶體定向和刃磨、金剛石微粉砂輪電解在線修整技（jì）術等（děng）方麵進行了卓有成效的研究。
清華大學在集（jí）成電路（lù）超（chāo）精密加工設備、磁盤加工及檢測設（shè）備、微位移工作台、超精密砂帶磨削和研拋、金剛石微粉砂輪（lún）超精密磨削、非圓截麵超精密切削等方麵進行了深入研究，並有相應產品問世。
此外， 中科院長春光學精密機械與物（wù）理研究所、華中理工（gōng）大學、沈陽******機床廠、成都工具（jù）研究所、國防科技大學等都進（jìn）行了這一領域（yù）的研究（jiū）， 成績（jì）顯著。
但總的（de）來說， 我國（guó）在超精密（mì）加工機床的效率、精度（dù）、可靠性， 特別是規格（大尺寸） 和技術配（pèi）套（tào）性方麵與國外相（xiàng）比， 與生產實際要求相比， 還（hái）有相當大的差距。另外，複雜曲麵（miàn）的精密加工也一直（zhí）是我國製造業發（fā）展的壁壘，而製造業的發展關係著******經濟的長遠發展問題，仍需投入大量的研究。
在多年的打拚中不（bú）斷完善，不斷改進，不斷創新，在實踐中（zhōng）積累了豐富的經驗與掌握了特殊的加工工藝，無論從高精密機械樣機加工（gōng），高精密零件加工（gōng），高精密模型樣機加工，北京cnc數控加工，北京夾具工（gōng）裝加工 ，尺寸精度還是外觀品質都令客（kè）戶（hù）拍手。所做產（chǎn）品受到諸多國內外知名企業的好評，產品遠銷東南亞。
04
精（jīng）密（mì）加工的發（fā）展趨勢
1
高精度、高效率（lǜ）
高精度與高效率是超精密加工永恒的主題。總的來說，固著磨粒加工不斷追求著遊離磨粒的加工（gōng）精度，而遊離磨粒加工（gōng）不斷追（zhuī）求的是固著磨粒加工（gōng）的效率（lǜ）。當前超精密加技術如CMP、EEM等雖能獲得極高的（de）表麵質量和表麵完整性，但以犧牲加工效率為保（bǎo）證（zhèng）。超精密切削、磨削技（jì）術雖然加工效率高（gāo），但無法獲得如CMP、EEM的加工精度。探索能兼顧效率（lǜ）與精度的加工方法，成為超精密加工領域研究（jiū）人（rén）員的目標。半固著磨粒加工方法的出（chū）現即體現了這一趨勢。另一方麵表現為電解磁力（lì）研磨、磁流變磨料流加工等複合加工方法的誕生（shēng）。
2
工（gōng）藝整合化（huà）
當今企業間的競爭趨（qū）於白熱化，高（gāo）生產效率越來越成為企業賴以生存的條（tiáo）件。在這（zhè）樣（yàng）的背景下，出現了以磨（mó）代研甚至以磨代拋的呼聲。另一方麵，使用一台設備完成多（duō）種加工(如車削、鑽削、銑（xǐ）削、磨削、光（guāng）整（zhěng）)的趨勢越來越明顯。
3
大（dà）型化（huà）、微型化
為加工（gōng）航空、航天、宇航（háng）等領域需要的大（dà）型光（guāng）電子器件(如大型天體望遠鏡上的反射鏡)，需要建立大型超精密加工設備。為加工微型電子（zǐ）機械、光電信（xìn）息（xī）等領域（yù）需要的微型器件(如微型傳感器、微型驅動元件等)，需要微（wēi）型超精（jīng）密加工設備(但這並（bìng）不（bú）是說加工微小型工件一定需要（yào）微小型加工設備)。
超（chāo）精密加工技術正迎來一個繁榮（róng）的（de）時（shí）代。超（chāo）精密切削、超精（jīng）密磨削、超精密研磨與拋光（guāng）技術已取得長足（zú）的進展，加工後工件表麵精度可達（dá）納米級或亞（yà）納米級（jí），並且加工方（fāng）法日趨多樣化。在流量計傳感器的（de）生產製造中，為了（le）達到產品的高精度（dù）測量，精密加工技（jì）術保證了產品的加工精度。
來源：傳感器技術（shù）
客（kè）服